三氟化氮

三氟化氮 （NF3)

包裝：采用44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要分裝到8L的氣瓶中。 

用途：NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無(wú)污染。

理化性質(zhì): 在常溫常壓下 , 三氟化氮為無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩(wěn)定的液化氣體，高純?nèi)獛缀鯖](méi)有氣味，它是一種熱力學(xué)穩(wěn)定的氧化劑，大約在 350 ℃左右可離解成為二氟化氮和氟氣，故其反應(yīng)性相似于氟。

注意事項(xiàng)：

1.在70℃以下NF3氣體對(duì)普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對(duì)氣瓶每?jī)赡暌獧z驗(yàn)一次。按有毒高壓液化氣體規(guī)定運(yùn)輸，國(guó)外規(guī)定可以用汽車、火車運(yùn)輸，不能用飛機(jī)運(yùn)輸。氣瓶充裝系數(shù)不大于0.01。

2.儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。